Моделирование технологии формирования легированных слоев при термическом отжиге полупроводниковых структур / А.Ф. Буренков, А.И. Кирковский, В.А. Цурко
Язык: русский.Выходные данные: Минск : ИМ, 1989Физическая характеристика: 52 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 33 (383)Библиография: Библиогр.: с. 47-52. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/14854 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5569725-10 |
Библиогр.: с. 47-52