Эллипсометрические методы исследования и контроля в полупроводниковой микроэлектронике / М-во электонной пром-сти СССР. ЦНИИ"Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1977Физическая характеристика: 80 с. : ил. ; 20 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 472Примечания: Авт. указаны на обл..Библиография: Библиогр.: с. 71-80.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6477956-10 |
Авт. указаны на обл.
Библиогр.: с. 71-80