Исследование газового травления в системе Ga As-As Cl₃-H₂ / Ю.В. Жиляев, А.Ю. Куликов, Г.Р. Маркарян и др.
Язык: русский.Выходные данные: Л. : ФТИ, 1989Физическая характеристика: 7 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 1412 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/24230 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5570735-10 |