Оптико-механическое оборудование микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Технол. оборуд. микроэлектроники" / Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т электрон. техники
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИЭТ, 1989Физическая характеристика: 58 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 57.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 89-4/14242 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5573527-10 |
Библиогр.: с. 57