Управление технологическими процессами при производстве ИС / Ю.П. Медведев, Ю.С. Синекоп, А.П. Коц
Язык: русский.Выходные данные: Киев : О-во "Знание" УССР, 1981Физическая характеристика: 19 с. : ил. ; 20 см.Серия: Библиотечка "Проблемы интегральной электроники" Библиография: Библиогр.: с. 19 (5 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 82-4/11571 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6181182-10 |
Библиогр.: с. 19 (5 назв.)