Разработка новых методов и оборудования для физико-аналитических исследований и сверхвысоковакуумной технологии производства изделий микроэлектроники : (Материалы науч.-техн. семинара, дек. 1989 г.)
ДСП. Экз. № 577 Язык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1989Физическая характеристика: 48 с. : ил. ; 21 см.Серия: Тезисы докладов конференции ; Вып. 302Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 48.Особенности распространения и использования: ДСП. Экз. № 577. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2650 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5583596-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 48
ДСП. Экз. № 577