Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : [Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов и др.] ; Под ред. А.А. Сазонова
Язык: русский.Выходные данные: М. : Высш. школа, 1991Физическая характеристика: 333, [1] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-06-000731-6 Библиография: Библиогр.: с. 332 (12 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/А-224 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-278275 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 91-5/2787 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5292657-10 |
Библиогр.: с. 332 (12 назв.)