Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Сов. радио, 1975Физическая характеристика: 73 с. : ил. ; 20 см.Серия: Массовая библиотека инженера Библиография: Список лит.: с. 69-72 (83 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство | Фотошаблоны для интегральных схем -- Производство -- Оборудование Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 75-4/17194 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7351095-10 |
Список лит.: с. 69-72 (83 назв.)