Эпитаксиальные процессы в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие по курсу "Физ.-хим. основы технологии микроэлектрон." / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: М. : МГИЭТ (ТУ), 1993Физическая характеристика: 84 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 80-83. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 93-4/8437 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5297327-10 |
Библиогр.: с. 80-83