Высокопроизводительный метод имплантации интенсивными атомными потоками в области промежуточных энергий (0,5 кэВ-10кэВ)
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : ГНЦ РФ ИЯФ, 1996Физическая характеристика: 15 с. : ил. ; 20 см.Серия: Государственный научный центр Российской Федерации - Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера СО РАН ; ИЯФ 96-58Библиография: Библиогр.: с. 14-15 (18 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 97-4/3210 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5300606-10 |
Библиогр.: с. 14-15 (18 назв.)