Современное состояние и перспективы развития фотолитографии
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1976Физическая характеристика: 71 с. : ил. ; 21 см.Серия: Министерство электронной промышленности СССР. ЦНИИ "Электроника" ; № 1 (122)Примечания: На 3-й с. авт.: Овчаров В.Ф., Степанов В.В., Федоров Н.Н..Библиография: Библиогр.: с. 58-59. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П11/2814 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7359569-10 |
На 3-й с. авт.: Овчаров В.Ф., Степанов В.В., Федоров Н.Н.
Библиогр.: с. 58-59