МЕТРОЛОГИЯ, стандартизация и измерительная техника : Раздел "Контроль качества изделий микроэлектрон."; Курс лекций для студентов спец 20.03 / [Е.А. Ладыгин, Н.Н. Горюнов, А.Л. Мельников и др.] ; Под ред. проф. Ладыгина Е.А. ; Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. полупроводниковой электрон. и физики полупроводников
Язык: русский.Выходные данные: М. : МИС и С, 1989 (вып. дан. 1990)Физическая характеристика: 70 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 68. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 90-4/4386 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5601403-10 |
Библиогр.: с. 68