Тонкопленочная технология / Перевод с англ. В.И. Генкина, Е.И. Гиваргизова
Другие варианты заглавия: : Thin film technologyЯзык: русский ; оригинала, английский.Выходные данные: Москва : Энергия, 1972Физическая характеристика: 336 с. : ил. ; 21 см.Примечания: На обороте тит. л.: Robert W. Berry, Peter M. Hall and Murray T. Harris. Thin film technology; Перед загл. авт.: Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис.Библиография: Список лит.: с. 329-335.Предметная рубрика - Тема: Пленки тонкие -- Получение | Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 72-3/7249 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7661725-10 |
На обороте тит. л.: Robert W. Berry, Peter M. Hall and Murray T. Harris. Thin film technology
Перед загл. авт.: Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис
Список лит.: с. 329-335