Ионное травление микроструктур
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Сов. радио, 1979Физическая характеристика: 103 с. : ил. ; 20 см.Серия: Массовая библиотека инженера ; 21Библиография: Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство Другие классификации: ( rubbk ) 32.844 ; ( rubbk ) з844.1-060.14,07 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 80-3/2793 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-1471157 |
Библиогр.: с. 95-102 (158 назв.)