Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов : Лекции
Язык: русский.Выходные данные: Ленинград : Ленингр. электротехн. ин-т, 1979Физическая характеристика: 59 с. : ил. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения.Библиография: Библиогр.: с. 58 (7 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство Другие классификации: ( rubbk ) з844.13-06я73-2 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 80-4/11534 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6525818-20 |
В надзаг.: Ленингр. ин-т авиац. приборостроения
Библиогр.: с. 58 (7 назв.)