Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии : (Реф.-аналит. обзор) / М-во электронной пром-сти. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1976Физическая характеристика: 66 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 9Примечания: На обл. авт.: Е.Е. Качурина, Л.Н. Немировский, В.В. Щеглова.Библиография: Библиогр.: с. 56-66. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7683396-10 |
На обл. авт.: Е.Е. Качурина, Л.Н. Немировский, В.В. Щеглова
Библиогр.: с. 56-66