Подробности: Технология многослойных структур для микроэлектроники , Раздел , "Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок" , Курс лекций для студентов спец. 20.02.

Книга

Технология многослойных структур для микроэлектроники : Раздел; "Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок"; Курс лекций для студентов спец. 20.02. / Овчинников В.В., Тимошин А.С., Крапухин В.В. ; [М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации]. Моск. ин-т стали и сплавов. Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов

Автор: Овчинников, Валерий ВасильевичАвтор (Альтер.): Тимошин, Анатолий Семенович;Крапухин, Всеволод ВалерьевичЯзык: русский.Выходные данные: М. : МИСиС, 1992 (вып. дан. 1993)Физическая характеристика: 88 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Библиогр.: с. 87-88. Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран.	93-4/1272 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5330921-10

Библиогр.: с. 87-88