Новые возможности применения лазеров в технологии изготовления полупроводниковых изделий : Обзор
Язык: русский.Выходные данные: М. : НИИЭИР, 1980Физическая характеристика: 43 с. : граф. ; 21 см.Серия: Радиоэлектроника за рубежом ; Вып. 7 (901)Примечания: Авт. указан в вып. дан..Библиография: Библиогр.: с. 42-43; На обл. только загл. сер.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/2167 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6234342-10 |
Просмотр РНБ (Московский) полок, Местонахождение: Русский журнальный фонд Закрыть просмотр полки (Скрывает браузер полки)
Авт. указан в вып. дан.
Библиогр.: с. 42-43
На обл. только загл. сер.