Физико-химические процессы в микроэлектронной технологии : Учеб. пособие / В.И. Земский, И.К. Мешковский, А.Ф. Новиков
Язык: русский.Выходные данные: Л. : Б. и., 1980Физическая характеристика: 72 с. : граф. ; 20 см.Примечания: В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Ленингр. ин-т точ. механики и оптики. Каф. общ. и физ. химии.Библиография: Библиогр.: с. 70. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
В надзаг.: М-во высш. и сред. спец. образования СССР, Ленингр. ин-т точ. механики и оптики. Каф. общ. и физ. химии
Библиогр.: с. 70