Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности / Пер. с англ. Н.В. Васильченко и др. ; Под ред. С.А. Неустроева
Язык: русский.Выходные данные: М. : Мир, 1992Физическая характеристика: 263 с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5-03-002002-0 Примечания: Перевод изд.: High vacuum production in the microelectronics industry / Pierre Duval (Amsterdam etc., 1988).Библиография: Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 92-5/1694 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5337211-10 |
Перевод изд.: High vacuum production in the microelectronics industry / Pierre Duval (Amsterdam etc., 1988)
Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.)