Подробности: Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия

Книга

Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия / [И.М. Скворцов, И.И. Лапидус, Б.В. Орион и др.]

Автор (Альтер.): Орион, Б. В. ;
Скворцов, Игорь Михайлович (д-р техн. наук) ;
Лапидус, И. И.Язык: русский.Выходные данные: Москва : Энергия, 1978Физическая характеристика: 135 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Список лит.: с. 129-134 (113 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые соединения -- ПолучениеДругие классификации: ( ) з852-060.7,0 ; ( ) з844.1-060.7,0Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран.	78-5/4563 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		6544728-20

Список лит.: с. 129-134 (113 назв.)