Российская национальная библиография

Описание RUSMARC Карточка
Книга

Плазмохимическое осаждение тонких слоев в реакторах пониженного давления / С.Н. Шепелев, В.Ю. Васильев, В.П. Попов

Автор: Шепелев, Сергей НиколаевичАвтор (Альтер.): Васильев, Владислав Юрьевич (1953-) ;Попов, Владимир Петрович Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1986Физическая характеристика: 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. Тип экземпляра: Книга
Параметры
    Средний рейтинг: 0.0 (0 голосов)
Нет реальных экземпляров для этой записи

В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР