Моделирование технологических операций производства БИС : Учеб. пособие; [Для студентов 4-5 курсов спец. 2006] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию. Моск. гос. ин-т электроники и математики (Техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: М. : Моск. гос. ин-т электроники и математики, 1994Физическая характеристика: 73 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-230-22224-7 Библиография: Библиогр.: с. 70-72. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 8этаж | 95-4/11092 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5347585-10 |
Библиогр.: с. 70-72