Механические системы вакуумного технологического оборудования для производства изделий квантовой электроники : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1974-1981 гг.)
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1983Физическая характеристика: 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР