Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем : (По материалам отеч. и зарубеж. печати с 1975 по 1981 гг.) / Е.Е. Качурина, В.И. Мякиненков, В.В. Щеглова
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1982Физическая характеристика: 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР