Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов / В.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; АН БССР, Ин-т электрон.
Язык: русский.Выходные данные: Минск : Наука и техника, 1988Физическая характеристика: 239, [1] c. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-343-00264-1 Библиография: Библиогр.: с. 233-238 (120 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-3/6481 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5656043-10 |
Библиогр.: с. 233-238 (120 назв.)