Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства : Учеб. пособие / Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИРЭА, 1977Физическая характеристика: 116 с. : ил. ; 20 см.Библиография: Список лит. в конце кн. (11 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Производство | Микроэлектронные схемы -- Производство Другие классификации: ( rubbk ) з844-022я77-1 ; ( rubbk ) з843.308.77-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж, Хран. | 78-3/4538 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6560589-20 |
Список лит. в конце кн. (11 назв.)