Основы фотолитографии в производстве интегральных схем / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1973Физическая характеристика: 39 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 86Библиография: Библиогр.: с. 35-38. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7716708-10 |
Библиогр.: с. 35-38