Алгоритмическое и программное обеспечение для решения обратной задачи эллипсометрии для однослойной системы при вариации толщины пленки и угла падения света
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Ин-т физики полупроводников, 1987Физическая характеристика: 37 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; 14Библиография: Библиогр.: с. 28.Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 88-4/26340 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5668068-10 |
Библиогр.: с. 28