Алгоритмическое и программное обеспечение для решения обратной задачи эллипсометрии при вариации толщины пленки однослойной системы
Язык: русский.Выходные данные: Новосибирск : Ин-т физики полупроводников, 1988Физическая характеристика: 35 с. : ил. ; 20 см.Издание: 2-е изд.Серия: Препринт ; 8Библиография: Библиогр.: с. 27. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 89-4/1473 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5668069-10 |
Библиогр.: с. 27