Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: М. : Изд-во ЦНИИ "Электроника", 1985Физическая характеристика: 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР. Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР