Процессы отмывки кремниевых подложек в производстве полупроводниковых приборов : (По данным отеч. и зарубеж. печати за 1970-1983 гг.) / А.Е. Шуляковский, В.С. Сотников, В.И. Иванов
Язык: русский.Выходные данные: М. : ЦНИИ "Электроника", 1984Физическая характеристика: 72 с. : ил. ; 22 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 1016Примечания: В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР.Библиография: Библиогр.: с. 64-71. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6000731-10 |
В надзаг. также: М-во электрон. пром-сти СССР
Библиогр.: с. 64-71