Расчет элементов вакуумных технологических установок для нанесения тонких пленок : Открытые шлюзовые системы / Под ред. канд. техн. наук, проф. Д.Б. Зворыкина ; М-во электронной пром-сти. Ин-т "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1970Физическая характеристика: 93 с. : ил. ; 20 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 210Примечания: Перед загл. авт.: Г.А. Алексеев, М.Б. Несвижский, М.Л. Шелюбский.Библиография: Библиогр.: с. 90-92. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7454553-10 |
Перед загл. авт.: Г.А. Алексеев, М.Б. Несвижский, М.Л. Шелюбский
Библиогр.: с. 90-92