Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : [Учеб. для сред. спец. учеб. заведений]
Другие варианты заглавия: : Производство микроэлектронных устройствЯзык: русский.Выходные данные: М. : Машиностроение, 1983Физическая характеристика: 319 с. : ил. ; 22 см.Примечания: Загл. корешка: Производство микроэлектронных устройств.Библиография: Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.). Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Фонд общего зала литературы по технике | Т1 З844.1/Б-825 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 1-278320 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 83-5/3624 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 6003709-10 |
Загл. корешка: Производство микроэлектронных устройств
Библиогр.: с. 318-319 (37 назв.)