Калибровка эллипсометра путем минимизации интенсивности с учетом несовершенств элементов
Язык: русский.Выходные данные: Киев : Ин-т физики. ОНТИ, 1987Физическая характеристика: 34 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 33Библиография: Библиогр.: с. 32-34. Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-4/24989 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5703273-10 |
Библиогр.: с. 32-34