Подробности: Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве

Книга

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю.А. Быстров, Е.А. Колгин, Б.Н. Котлецов

Автор: Быстров, Юрий Александрович (1931-)Автор (Альтер.): Колгин, Евгений Алексеевич;Котлецов, Борис НиколаевичЯзык: русский.Выходные данные: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 165, [2] с. : ил. ; 22 см.ISBN: 5-256-00006-3 Библиография: Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.). Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж	88-5/1436 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		5704742-10

Библиогр.: с. 162-166 (105 назв.)