Формулировка и решение полной задачи оптимизации электронно-литографического процесса / К.А. Валиев, Б.Н. Ковтун, Т.М. Махвиладзе
Язык: русский.Выходные данные: М. : Б. и., 1987Физическая характеристика: [1], 63 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; № 194Библиография: Библиогр.: с. 42-43. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 88-4/16502 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5705368-10 |
Библиогр.: с. 42-43