Автоматизированные линии для производства интегральных схем : (По материалам иностр. печати за 1969-1973 гг.) / М-во электронной пром-сти СССР. ЦНИИ "Электроника"
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Б. и., 1973Физическая характеристика: 58 с. : ил. ; 21 см.Серия: Обзоры по электронной технике ; Вып. 130Библиография: Библиогр.: с. 56-57. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П51/94 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7757902-10 |
Библиогр.: с. 56-57