Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций; [для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210600 "Нанотехнология", 210601 "Нанотехнология в электронике" и по специальности 210602 "Наноматериалы"] / Г.Д. Кузнецов, С.Б. Симакин, Д.Н. Демченкова ; Федер. агентство по образованию, Гос. технол. ун-т Моск ин-т стали и сплавов МИСиС, Каф. технологии материалов электроники
Язык: русский.Выходные данные: Москва : изд. дом МИСиС, 2008Физическая характеристика: 190 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 190.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Получение -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З844.13-06я73-2 Тип экземпляра: КнигаТип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-3/5699 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6289 | Доступно | 2862358 | ||
Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2009-3/5699 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 6289 | Доступно | 2862360 |
Библиогр.: с. 190