Ч. 2
Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: 2006, Б. м.Физическая характеристика: 173 с. : ил.Библиография: Библиогр.: с. 170-171.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Осаждение из газовой фазы -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З85-060.7я73-1 ; З844.13-060.7я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 3этаж | 2005-3/33887 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4230 | Доступно | 2358778 |
осаждение из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев
Библиогр.: с. 170-171