МОДЕЛИРОВАНИЕ технологических процессов микроэлектроники : [Сб. ст.] / Отв. ред. д. ф.-м. н. Т.М. Махвиладзе
Язык: русский.Выходные данные: М. : Наука, 1992Физическая характеристика: 120 с. : ил. ; 24 см.Серия: Труды ФТИАН ; Т. 3Библиография: Библиогр. в конце ст.. Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский журнальный фонд | П10/6938 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5431514-10 |
Библиогр. в конце ст.