Защитные пленки в производстве полупроводниковых приборов : (Окисел кремния, нитрид кремния, окисел алюминия); Отеч. и иностр. литература...
Тома: Показать записиЯзык: русский.Выходные данные: [Москва] : ОНТИТЭИ, 1972Физическая характеристика: 22 см.Серия: Министерство электронной промышленности СССР. Тематические указатели литературы Предметная рубрика - Тема: Полупроводниковые приборы -- Производство -- Указатели литературы | Пленки тонкие -- Указатели литературы Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи