Зондовые нанотехнологии в электронике : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 210601 "Нанотехнология в электроника" и 210602 "Наноматериалы" направления подготовки 210600 "Нанотехнология" и по специальностям 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и 210108 "Микросистемная техника" направления подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" / В. Неволин
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Техносфера, 2006Физическая характеристика: 159 с. : ил., цв. ил. ; 22 см.ISBN: 5-94836-098-9 Издание: Изд. 2-е, испр. и доп.Серия: Мир электроники Библиография: Библиогр. в конце гл..Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Зондовые методы Неконтролируемые предметные термины: Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Технология производства -- Оборудование Другие классификации: ( rubbk ) З844.19-06-5,0 ; З844.15-06 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2007-5/1541 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4334 | Доступно | 1-1503474 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2007-5/1541 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 4334 | Доступно | 2365196 |
пред.изд.2005г.
Библиогр. в конце гл.