МОДЕЛИРОВАНИЕ лазерно-стимулированных процессов травления и осаждения в микротехнологии / Е.А. Волкова, А.С. Ковалев, А.М. Попов и др.
Язык: русский.Выходные данные: М. : НИИЯФ МГУ, 1991Физическая характеристика: 24 с. : ил. ; 20 см.Серия: Препринт ; НИИЯФ МГУ-91-30/234Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 23-24.Предметная рубрика - Тема: Травление -- Применение в производстве микросхем Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 91-4/14627 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8782185-10 |
Рез. на англ. яз.
Библиогр.: с. 23-24