ИМПУЛЬСНАЯ ионная обработка и осаждение тонких пленок и покрытий : [Метод. рекомендации] / О-во "Знание" Украины. Респ. дом. экон. и науч.-техн. пропаганды ; [Подгот. д. т. н. В.П. Белевским и др.]
Язык: русский.Выходные данные: Киев : РДЭНТП, 1991Физическая характеристика: 23 с. : ил. ; 20 см.Серия: В помощь лектору и специалисту Библиография: Библиогр.: с. 20-21.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Осаждение | Тонкие пленки -- Обработка ионно-плазменная Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 91-4/7024 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 8782788-10 |
Библиогр.: с. 20-21