Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов : (Обзор по материалам отечественной и зарубежной литературы) / Сост.: Г.М. Белевич, Ю.И. Федоров, Г.А. Шапкин и др. ; Гос. ком. по электронной технике СССР
Рассылается по списку. Экз. № 3 Сводное описание: Язык: русский.Выходные данные: Б. м. : Б. и., 1963Физическая характеристика: 49 с. ; 22 см.Серия: Обзоры состояния отдельных вопросов радиоэлектроники ; Вып. 17Библиография: Библиогр.: с. 45-48.Особенности распространения и использования: Рассылается по списку. Экз. № 3. Тип экземпляра: ВыпускНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 45-48
Рассылается по списку. Экз. № 3