Кремниевые структуры для приборов микроэлектроники : учебное пособие по курсу "Технология микроэлектроники" / Д.В. Зиновьев, В.М. Андреев, К.А. Тузовский ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)
Язык: русский.Выходные данные: Москва : МИЭТ, 2006Физическая характеристика: 64 с. : ил. ; 20 см.ISBN: 5-7256-0422-5 Библиография: Библиогр.: с. 63 (8 назв.).Предметная рубрика - Тема: Кремниевые пластины -- Учебные издания для высших учебных заведений Другие классификации: З843.322.4я73-1 ; З844.1-03я73-1 Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2007-4/6062 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 347 | Доступно | 2390512 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года, 9этаж | 2007-4/6062 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 347 | Доступно | 2390513 |
кремниевые пластины
Библиогр.: с. 63 (8 назв.)