Подробности: Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники , Учеб. пособие , [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"]

Книга

Вакуумные системы и устройства в оборудовании электронной техники : Учеб. пособие; [Для студентов IV-VI курсов спец. 2006 - "Электрон. машиностроение"] / В.В. Вислоух, Н.Я. Дривинг, Е.К. Куломзин ; Гос. ком. РСФСР по делам науки и высш. шк. Моск. ин-т электрон. машиностроения

Автор: Вислоух, Вадим ЕвгеньевичАвтор (Альтер.): Дривинг, Нина Яновна ;
Куломзин, Евгений КонстантиновичЯзык: русский.Выходные данные: М. : Моск. ин-т электрон. машиностроения, 1991Физическая характеристика: 54 с. : ил. ; 19 см.Библиография: Библиогр.: с. 53.Предметная рубрика - Тема: Вакуумное оборудование для производства микросхем -- Руководства, пособия и т.п. для высшей школыКоллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	92-4/2577 (Просмотр полки(Открывается ниже))	Доступно		8739749-10

Библиогр.: с. 53