Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : [учебное пособие]; для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальностям 200103 - "Авиационные приборы и измерительно-вычислительные комплексы" и 200106 "Информационно-измерительная техника и технологии" / Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. проф. образования "Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева", Арзамас. политехн. ин-т (фил. НГТУ)
Язык: русский.Выходные данные: Нижний Новгород : Нижегородский государственный технический университет, 2014Физическая характеристика: 126 с. : ил., табл. ; 21 см.ISBN: 9785502004541 Библиография: Библиогр.: с. 111-112 (17 назв.).Предметная рубрика - Тема: Датчики давления -- Производство -- Учебные издания для высших учебных заведений | Акселерометры -- Детали -- Обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений | Кремниевые пластины -- Обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений Неконтролируемые предметные термины: микропрофилирование кремния | кремниевые мембраны датчиков давления Другие классификации: З323-503-06я73-1 ; З843.322.408я73-1 ; К963.13я73-1 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Библиогр.: с. 111-112 (17 назв.)