Спектрометр для исследования явления термической десорбции ионов Ar+ из образцов кремния / А. Дроздзель, А. Вуйтович, М. Турек [и др.]
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Дубна : Издательский отдел Объединенного института ядерных исcледований, 2014Физическая характеристика: 7, [1] с. : ил., табл. ; 22 см.Серия: Сообщения Объединённого института ядерных исследований, Дубна ; P13-2014-22Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр. в конце кн..Предметная рубрика - Тема: Кремний -- Ионная имплантация | Аргон -- Ионы Другие классификации: З843.322.408 Тип экземпляра: КнигаНет реальных экземпляров для этой записи
Рез. на англ. яз.
Библиогр. в конце кн.